適用於半導體工程OEM系列應用的高精度位移感測器
Micro-Epsilon的感測器技術多年來成功應用於半導體產業，為各類測量任務提供最適解決方案：我們提供適用於複雜前端製程、後端應用及晶圓處理自動化的超精密感測器。我們的感測器解決方案憑藉其高精度、可靠性與長期穩定性脫穎而出——即使在各類製造環境中嚴苛的製程條件下亦能穩定運作。
嵌入式線圈技術
針對要求極高的OEM專案，我們建議採用嵌入式線圈技術或嵌入式電容器技術（ECT）。憑藉無機材料製成的微型化感測器設計，外形結構幾乎能實現所有自由度。陶瓷基板賦予感測器優異的機械強度與極高穩定性。必要時可將完整評估電子元件整合於感測器內，使ECT感測器能適應特殊安裝情境。此類感測器適用於最嚴苛的使用環境，並已在眾多應用場景中展現卓越效能。
為半導體產業提供更高精準度
Micro-Epsilon為半導體產業的多元應用提供最適切的解決方案——從高精度光學定位與平台對準，到混合式接合技術皆涵蓋其中。其感測器廣泛應用於前端與後端製程，憑藉頂尖的精準度與可靠性脫穎而出。
