Vysoce přesné měření tloušťky křemíkových destiček

Pro přesné měření tloušťky destiček se používají kapacitní snímače. Dva protilehlé snímače detekují tloušťku a také měří další parametry, jako jsou například deformace nebo řezné značky. Umístění oplatky v měřicí mezery se může lišit.