Interferometr pro měření absolutní vzdálenosti s přesností v nanometrech
Nový interferometr IMS5400-DS otevírá nové perspektivy v průmyslovém měření vzdáleností. Kontrolér má inteligentní vyhodnocení a umožňuje absolutní měření s přesností v nanometrech s relativně velkou ofsetovou vzdáleností. Ve srovnání s jinými absolutně měřicími optickými systémy nabízí IMS5400-DS bezkonkurenční kombinaci přesnosti, rozsahu měření a ofsetové vzdálenosti.
Vlastnosti
- Absolutní měření vzdálenosti s přesností v nanometrech, vhodné např. pro měření stupňovitých profilů
- Měření vzdálenosti transparentních objektů v režimu Multi-Peak
- Kompaktní a robustní snímače s velkou vzdáleností offsetu
- Rychlost měření až 6 kHz pro rychlá měření
- Robustní řídicí jednotka s pasivním chlazením
- Jednoduchá konfigurace přes webové rozhraní
- Kompaktní snímače také s 90° dráhou paprsku
- Flexibilní průmyslová integrace pro rychlé seřízení v provozu přímo na místě
- NOVINKA - Nyní také s velkou vzdáleností offsetu - pro spolehlivé měření vzdálenosti i na obtížně přístupných a nízko položených měřicích místech
Měření absolutní vzdálenosti s rozlišením v nanometrech
IMS5400-DS se používá pro vysoce přesné měření vzdálenosti a polohy. Na rozdíl od konvenčních interferometrů umožňuje IMS5400-DS stabilní měření stupňovitých profilů. Díky absolutnímu měření jsou úrovně snímány s vysokou stabilitou a přesností signálu. Při měření na pohybujících se objektech lze spolehlivě zaznamenat výškové rozdíly kroků, schodů a vybrání.
Multi-peak distance measurement
With multi-peak distance measurement on transparent objects, up to 14 distance values are evaluated simultaneously. For example, the distance between glass and a carrier plate can be determined. In addition, the controller can calculate the glass thickness based on the distance values.
Ideální pro průmyslové prostředí
Robustní snímač a řídicí jednotka v kovovém pouzdru činí systém ideálním pro integraci do výrobních linek. Regulátor může být instalován do rozvaděče na lištu a poskytuje velmi stabilní výsledky měření díky aktivní kompenzaci teploty a pasivnímu chlazení. Kompaktní snímače šetří prostor a mohou být také integrovány do stísněných prostor. Vysoce flexibilní kabely z optických vláken jsou k dispozici v délce až 10 metrů a umožňují fyzickou separaci senzoru od ovladače. Uvedení do provozu a parametrizace se provádí pohodlně přes webové rozhraní a nevyžaduje žádnou instalaci softwaru.
Malý světelný bod pro měření nejmenších detailů a struktur
Senzory generují malý světelný bod v celém měřicím rozsahu. Průměr světelného bodu je pouze 10 µm a umožňuje sledovat malé detaily, např. struktury na polovodičích a miniaturizovaných elektronických součástkách.
Měření široké škály povrchů
Interferometrická metoda měření dovoluje měřit s vysokou přesností na četných površích, jako jsou reflexní kovy, plasty či sklo.
NOVINKA: Snímače s velkou vzdáleností offsetu
Pro bezpečné a spolehlivé měření, a to i na obtížně přístupných nebo nízko položených měřicích místech: nový snímač IMS5400-DS35/VAC nabízí velkou vzdálenost offsetu, snižuje rušení a umožňuje bezpečný odstup od horkých objektů.
Snímače také s 90° dráhou paprsku
Díky kompaktním rozměrům lze tyto snímače integrovat i do stísněných prostor. U modelů s výstupem paprsku pod úhlem 90° se požadovaná hloubka zástavby opět výrazně snižuje.
Četné modely pro náročné měřicí úkoly
| Model | Měřicí rozsah / počátek měřicího rozsahu | Linearita | Počet měřitelných vrstev | Oblasti použití |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0.5/90/VAC | 1,5 mm / cca 0,5 mm | ± 50 nm | - | Vysoce přesné měření vzdálenosti v čistých prostorech a ve vakuu, např. měření na povlakovaných waferech. |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / cca 19 mm | ± 50 nm | - | Průmyslová měření vzdálenosti, např. v přesné výrobě |
| IMS5400-DS19/VAC | Přesné polohovací úlohy a měření vzdálenosti v čistých prostorech a ve vakuu, např. při výrobě displejů pro výrobu masek | |||
| IMS5400-DS35/VAC | 2,1 mm / cca 35 mm | < ±50 nm pro první vzdálenost < ±150 nm pro každou další vzdálenost | - | Přesné sledování polohy při výrobě skleněných waferů a pro měření vzdálenosti na povlakovaných waferech. Díky velké vzdálenosti offsetu lze měření provádět z bezpečné vzdálenosti a na nízko položených nebo obtížně přístupných měřicích místech |
| IMS5400MP-DS35/VAC | Měření vzdálenosti: 2,1 mm / cca 35 mm Měření tloušťky: 0,01 ... 1,3 mm (pro BK7, n=1,5) / cca 35 mm | Až 13 vrstev | ||
| IMS5400MP-DS19 | Měření vzdálenosti: 2,1 mm / cca 19 mm Měření tloušťky: 0,01 ... 1,3 mm (pro BK7, n=1,5) / cca 19 mm | ± 50 nm pro první vzdálenost ± 150 nm pro každou další vzdálenost | Až 13 vrstev | Průmyslová měření vzdálenosti a tloušťky, např. při výrobě plochého skla |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Přesná měření vzdálenosti a tloušťky v čistých prostorech a ve vakuu, např. při výrobě displejů pro měření vzdálenosti a mezer |
Moderní rozhraní pro integraci do strojů a systémů
Řídicí jednotka má integrovaná rozhraní Ethernet, EtherCAT a RS422. Umožňuje připojení enkodéru, analogových výstupů, synchronizačních vstupů a digitální I / O. To znamená, že interferometr výchovy.
