Interféromètre à lumière blanche pour la mesure absolue de la distance avec une précision de l’ordre du nanomètre
Le tout dernier interféromètre à lumière blanche IMS5400-DS ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure des distances industrielle. Le contrôleur dispose d’une évaluation intelligente et permet des mesures absolues avec une précision de l’ordre du nanomètre pour un écartement de base relativement grand. Comparé à d’autres systèmes optiques de mesure absolue, l’IMS5400-DS offre une combinaison inégalée de précision, de plage de mesure et d’écartement de base.
Caractéristiques
- Mesure absolue de distance avec une précision nanométrique, adaptée à la mesure, par exemple, de profils des dénivelées
- Mesure de distance multipointe sur des objets transparents
- Capteurs compacts et robustes avec un grand écartement de base
- Fréquence de mesure jusqu'à 6 kHz pour des mesures rapides
- Contrôleur robuste avec refroidissement passif
- Configuration simple via une interface web
- Capteurs compacts, également avec un trajectoire de rayon de 90°
- Intégration industrielle flexible pour une adaptation rapide sur site
- NOUVEAU - Désormais disponible avec un grand écartement de base pour une mesure de distance fiable ou pour les zones difficiles d'accès et en profondeur
Mesure de la distance absolue avec une résolution de l’ordre du nanomètre
L’IMS5400-DS est utilisé pour la mesure de déplacement et de distance de haute précision. Contrairement aux interféromètres classiques, l’IMS5400-DS permet également de mesurer de manière stable les profils de dénivelés. Grâce à la mesure absolue, le balayage des niveaux est effectué avec une grande stabilité et précision du signal. Lors de mesures sur des objets en mouvement, les différences de niveau des talons, des dénivelés et des cavités peuvent ainsi être détectées de manière fiable.
Mesure de distance multi-peak
Lors de la mesure de distance multi-peak sur des objets transparents, jusqu'à 14 valeurs de distance sont évaluées simultanément. Cela permet par exemple de déterminer la distance entre le verre et une plaque de support. En outre, le contrôleur peut calculer l'épaisseur du verre à partir des valeurs de distance.
Idéal pour les environnements industriels
Des capteurs robustes et un contrôleur dans un boîtier métallique prédestinent le système à l’intégration dans les lignes de production. Le contrôleur peut être installé dans l’armoire de commande en utilisant un montage sur rail DIN et fournit des résultats de mesure très stables grâce à la compensation active de la température et au refroidissement passif. Les capteurs compacts sont très peu encombrants et peuvent également être intégrés dans des espaces restreints. Les longueurs des câbles à fibres optiques hautement flexibles prolongées jusqu’à 10 m permettent d’obtenir une grande distance entre le capteur et le contrôleur. La mise en service et le paramétrage s’effectuent de manière pratique via une interface web et ne nécessitent aucune installation de logiciel.
Petit spot lumineux pour mesurer les plus petits détails et structures
Les capteurs génèrent un petit point lumineux sur toute la plage de mesure. Le diamètre du spot lumineux n’est que de 10 µm et permet la détection de petits détails tels que les structures sur les semi-conducteurs et les composants électroniques miniaturisés.
Mesure sur de nombreuses surfaces
La méthode de mesure interférométrique permet d’effectuer des mesures sur de nombreuses surfaces et de réaliser des mesures de distance de haute précision sur les métaux, les plastiques et le verre réfléchissants.
NOUVEAU : capteurs à grand écartement de base
Pour des mesures sûres et fiables, même dans les endroits difficiles d'accès ou situés en profondeur : le nouveau capteur IMP DS35/VAC offre un grand écartement de base, réduit les interférences et permet en même temps de maintenir une distance de sécurité par rapport aux objets chauds.
Capteurs avec un trajectoire de rayon de 90°
Grâce à leur design compact, les capteurs peuvent être également intégrés dans les espaces d’installation réduits. Les modèles avec trajectoire de rayon à 90° nécessitent nettement moins de profondeur d’installation.
De nombreux modèles pour les tâches de mesure exigeantes
| Modèle | Plage de mesure / début de plage de mesure | Linéarité | Nombre de couches mesurables | Domaines d'application |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm / env. 0,5 mm | ± 50 nm | - | Mesure de distance de haute précision en salle blanche et sous vide, par exemple pour la mesure sur des wafers revêtus. |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / env. 19 mm | ± 50 nm | - | Mesures de distance industrielles, par exemple dans la fabrication de précision |
| IMS5400-DS19/VAC | Tâches de positionnement précises et mesures de distance en salle blanche et sous vide, par exemple dans la production d'écrans pour le positionnement de masques | |||
| IMS5400-DS35/VAC | 2,1 mm / env. 35 mm | < ±50 nm pour la première distance < ±150 nm pour chaque distance supplémentaire | - | Surveillance précise de la position lors de la production de wafers de verre ainsi que pour les mesures de distance sur des wafers revêtus. Grâce à un grand écartement de base, les mesures peuvent être effectuées à une distance sûre, ce qui facilite également les applications sur des points de mesure situés en profondeur ou difficiles d'accès |
| IMS5400MP-DS35/VAC | Mesure de distance : 2,1 mm / env. 35 mm Mesure d'épaisseur : 0,01 ... 1,3 mm (pour BK7, n=1,5) / env. 35 mm | Jusqu'à 13 couches | ||
| IMS5400MP-DS19 | Mesure de distance : 2,1 mm / env. 19 mm Mesure d'épaisseur : 0,01 … 1,3 mm (pour BK7, n=1,5) / env. 19 mm | ± 50 nm pour la première distance ± 150 nm pour chaque distance supplémentaire | Jusqu’à 13 couches | Mesure industrielle de distance et d’épaisseur, par exemple dans la production de verre plat |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Mesure précise de distance et d’épaisseur en salle blanche et sous vide, par exemple dans la production d’écrans pour la mesure de distance et de fente |
Interfaces modernes pour l’intégration dans des machines et des installations
Le contrôleur dispose d’interfaces intégrées telles que Ethernet, EtherCAT et RS422 ainsi que des connexions d’encodeur, de sorties analogiques, d’entrées de synchronisation et d’entrées/sorties numériques additionnelles. PROFINET et Ethernet/IP sont disponibles grâce aux modules d’interface Micro-Epsilon. Cela permet d’intégrer l’interféromètre dans tous les systèmes de commande et programmes de production.
