Valkoisen valon interferometri absoluuttiseen etäisyyden mittaukseen nanometrin tarkkuudella
Uusi valkoisen valon IMS5400-DS-interferometri avaa uusia mahdollisuuksia teollisessa etäisyyden mittauksessa. Ohjauselektroniikassa on älykäs arviointitoiminto ja se mahdollistaa absoluuttiset mittaukset nanometrin tarkkuudella melko suurella mittauksen aloitusetäisyydellä. Muihin absoluuttisiin optisiin mittausjärjestelmiin verrattuna IMS5400-DS tarjoaa ylivoimaisen yhdistelmän tarkkuutta, mittausetäisyyttä ja mittauksen aloitusetäisyyttä.
Ominaisuudet
- Nanometrin tarkkaa absoluuttista etäisyyden mittausta, sopii esimerkiksi askelprofiilien mittaukseen
- Läpinäkyvien kohteiden monen huipun etäisyysmittaus
- Kompaktit ja kestävät anturit suurella mittauksen aloitusetäisyydellä
- Mittausnopeus jopa 6 kHz nopeisiin mittauksiin
- Kestävä ohjauselektroniikka passiivisella jäähdytyksellä
- Helppo konfigurointi verkkoliittymän kautta
- Kompaktit anturit myös 90° kulmalla
- Joustava integrointi teollisuusympäristöihin nopeaa paikan päällä tehtävää alueen sovitusta varten
- UUTTA – nyt myös suurella mittauksen aloitusetäisyydellä – luotettavaan etäisyyden mittaukseen vaikeapääsyisissä ja matalalla sijaitsevissa kohdissa
Absoluuttista etäisyyden mittausta nanometrin tarkkuudella
IMS5400-DS-interferometriä käytetään tarkkoihin siirtymän ja etäisyyden mittauksiin. Toisin kuin tavalliset interferometrit IMS5400-DS mahdollistaa myös askelprofiilien vakaan mittaamisen. Absoluuttisen mittauksen ansiosta askeleen skannaaminen tapahtuu korkealla signaalin vakaudella ja tarkkuudella. Kun mitataan liikkuvia kohteita, voidaan reunojen, askelten ja painaumien korkeuserot näin tunnistaa luotettavasti.
Monen huipun etäisyysmittaus
Läpinäkyvien kohteiden monen huipun etäisyysmittauksella arvioidaan samanaikaisesti jopa 14 etäisyysarvoa. Esimerkiksi lasin ja kantolevyn välinen etäisyys on mahdollista määrittää. Lisäksi ohjain voi laskea lasin paksuuden etäisyysarvojen perusteella.
Ihanteellinen valinta teollisuusympäristöihin
Kestävien antureiden ja metallikoteloidun ohjauselektroniikan ansiosta järjestelmä sopii erinomaisesti tuotantolinjoille integroitavaksi. Ohjauselektroniikka voidaan asentaa sähkökaappiin DIN-kiskoasennuksella. Se tarjoaa erittäin vakaat mittaustulokset aktiivisen lämpötilan kompensoinnin ja passiivisen jäähdytyksen ansiosta. Nämä kompaktit anturit vievät erittäin vähän tilaa, joten ne voidaan integroida ahtaisiinkin tiloihin. Saatavilla on erittäin joustavia valokuitukaapeleita jopa 10 metrin pituisina. Ne mahdollistavat anturin ja ohjauselektroniikan sijoittamisen eri paikkaan. Käyttöönotto ja parametrointi sujuu kätevästi web-liittymän kautta, eikä edellytä minkään ohjelmiston asentamista.
Pienellä valopisteellä voidaan tunnistaa pienimmätkin yksityiskohdat ja rakenteet
Anturit tuottavat pienen valopisteen koko mittausalueelle. Valopisteen halkaisija on vain 10 µm ja se mahdollistaa pientenkin yksityiskohtien kuten puolijohteiden ja pienoiskokoisten elektroniikkakomponenttien rakenteiden tunnistuksen.
Useiden pintojen mittaus
Interferometrinen mittausmenetelmä mahdollistaa mittaukset lukuisilta pinnoilta. Se mahdollistaa tarkat etäisyyden mittaukset heijastavilta metalleilta, muoveilta ja lasilta.
UUTTA: anturit suurella mittauksen aloitusetäisyydellä
Turvallisiin ja luotettaviin mittauksiin myös vaikeapääsyisissä tai matalalla sijaitsevissa mittauspisteissä: uudessa IMP DS35/VAC -anturissa on suuri mittauksen aloitusetäisyys, se vähentää häiriöitä ja mahdollistaa turvallisen etäisyyden kuumiin kohteisiin.
Anturit myös 90° kulmalla
Kompaktin kokonsa ansiosta anturit voidaan integroida myös ahtaisiin tiloihin. 90° kulmalla varustetuissa malleissa tarvittava asennussyvyys pienenee jälleen merkittävästi.
Lukuisia malleja vaativiin mittaustehtäviin
| Malli | Mittausalue / mittausalueen alku | Lineaarisuus | Mitattavien kerrosten määrä | Käyttökohteet |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0.5/90/VAC | 1,5 mm / n. 0,5 mm | ± 50 nm | - | Erittäin tarkka etäisyyden mittaus puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esim. mittaus pinnoitetuilla kiekoilla. |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / n. 19 mm | ± 50 nm | - | Teolliset etäisyysmittaukset, esim. tarkkuusvalmistuksessa |
| IMS5400-DS19/VAC | Tarkat paikannustehtävät ja etäisyysmittaukset puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esim. näyttöjen tuotannossa maskien valmistuksessa | |||
| IMS5400-DS35/VAC | 2,1 mm / n. 35 mm | < ±50 nm ensimmäiselle etäisyydelle < ±150 nm jokaiselle lisäetäisyydelle | - | Tarkka sijainnin valvonta lasikiekkojen tuotannossa ja etäisyysmittaukset pinnoitetuilla kiekoilla. Suuren mittauksen aloitusetäisyyden ansiosta mittaukset voidaan tehdä turvalliselta etäisyydeltä sekä matalalla sijaitsevissa tai vaikeapääsyisissä mittauspisteissä |
| IMS5400MP-DS35/VAC | Etäisyysmittaus: 2,1 mm / n. 35 mm Paksuusmittaus: 0,01 ... 1,3 mm (BK7, n = 1,5) / n. 35 mm | Jopa 13 kerrosta | ||
| IMS5400MP-DS19 | Etäisyysmittaus: 2,1 mm / n. 19 mm Paksuusmittaus: 0,01 ... 1,3 mm (BK7, n = 1,5) / n. 19 mm | ± 50 nm ensimmäiselle etäisyydelle ± 150 nm jokaiselle lisäetäisyydelle | Jopa 13 kerrosta | Teolliset etäisyys- ja paksuusmittaukset, esim. tasolasin tuotannossa |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Tarkat etäisyys- ja paksuusmittaukset puhdastilaympäristöissä ja tyhjiössä, esim. näyttöjen tuotannossa etäisyyden ja raon mittauksiin |
Modernit liittymät koneisiin ja järjestelmiin integroimista varten
Ohjain tarjoaa integroituja liittymiä, kuten Ethernet, EtherCAT ja RS422 sekä lisäksi enkooderiliitännät, analogilähdöt, synkronointitulot ja digitaaliset I/O:t. Kun käytät Micro-Epsilonin liitäntämoduuleja, PROFINET ja EthernetIP ovat käytettävissä Näin interferometri voidaan integroida kaikkiin ohjausjärjestelmiin ja tuotanto-ohjelmiin.
