אינטרפרומטר אור לבן למדידת מרחק מוחלטת עם דיוק ננומטרי
האינטרפרומטר אור לבן החדש IMS5400-DS פותח פרספקטיבות חדשות במדידת מרחק תעשייתי. לבקר יש תכונת הערכה חכמה ומאפשר מדידות מוחלטות עם דיוק ננומטרי במרחק היסט גדול יחסית. בהשוואה למערכות מדידה אופטיות מוחלטות אחרות, ה- IMS5400-DS מציעה שילוב ללא תחרות של דיוק, טווח מדידה ומרחק היסט.
מאפיינים
- מדידת מרחק אבסולוטית בדיוק ננומטרי, המתאימה למדידת פרופילי מדרגה, לדוגמה
- מדידת מרחק רב־שיאים של עצמים שקופים
- חיישנים קומפקטיים ועמידים עם מרחק עבודה גדול
- קצב מדידה של עד 6 קילו־הרץ למדידות מהירות
- בקר עמיד עם קירור פסיבי
- קונפיגורציה פשוטה באמצעות ממשק אינטרנט
- חיישנים קומפקטיים זמינים גם עם מסלול קרן בזווית 90°
- אינטגרציה תעשייתית גמישה להתאמה מהירה בשטח
- חדש – כעת גם עם מרחק עבודה גדול – למדידת מרחק אמינה ובאזורים נמוכים וקשים לגישה.
מדידת מרחק מוחלטת ברזולוציה ננומטרית
ה-IMS5400-DS משמש למדידות בדיוק גבוהה של עקירה ומרחק. בניגוד לאינטרפרומטרים מסורתיים, IMS5400-DS מאפשר בנוסף מדידה יציבה של פרופילים מדורגים. הודות למדידה המוחלטת, סריקת מדרגות מבוצעת ביציבות אות ודיוק גבוהים. כאשר מודדים על עצמים נעים, ניתן לזהות באופן מהימן את הבדלי גובה ההטיה, הצעדים והשקעים.
מדידת מרחק עם ריבוי פיקים (multi-peak)
עם מדידת מרחק מרובת פיקים על עצמים שקופים, מוערכים בו זמנית עד 14 ערכי מרחק. לדוגמה, ניתן לקבוע את המרחק בין זכוכית לצלוחית מנשא. בנוסף, הבקר יכול לחשב את עובי הזכוכית בהתבסס על ערכי המרחק.
אידיאלי לסביבות תעשייתיות
חיישנים קשיחים ובקר במארז מתכת הופכים את המערכת למתאימה באופן אידיאלי להטמעה בקווי ייצור. הבקר יכול להיות מותקן בארון הבקרה דרך התקנה על מסילת DIN ומספק תוצאות מדידה יציבות מאוד עקב פיצוי טמפרטורה אקטיבי וקירור פסיבי. חיישנים קומפקטיים אלה חסכוניים מאוד במקום וניתן בנוסף לשלב אותם בחללים מוגבלים. כבלי סיבים אופטיים גמישים ביותר זמינים באורכים של עד 10 מטר ומאפשרים הפרדה מרחבית של חיישן ובקר. הרצה וקביעת פרמטרים בנוחות דרך ממשק אינטרנט ואינו דורש התקנת תוכנה כלשהי.
נקודת אור קטנה לפרטים והתבליטים הקטנים ביותר
החיישנים יוצרים נקודת אור קטנה על פני כל טווח המדידה. קוטר נקודת האור הוא 10 מיקרון בלבד ומאפשר זיהוי של פרטים קטנים כגון תבליטים על מוליכים למחצה ורכיבים אלקטרוניים ממוזערים.
מדידת משטחים מרובים
שיטת המדידה האינטרפרומטרית מאפשרת מדידות על משטחים רבים. הדבר מאפשר מדידות מרחק בדיוק גבוה על מתכות משתקפות, פלסטיק וזכוכית.
חדש: חיישנים עם מרחק עבודה גדול
למדידות בטוחות ומהימנות, גם בנקודות מדידה נמוכות או קשות לגישה: חיישן ה-IMP DS35/VAC החדש מתאפיין במרחק עבודה גדול, מפחית הפרעות ומאפשר שמירה על מרחק בטיחות מעצמים חמים.
חיישנים זמינים גם עם מסלול קרן של 90°
הודות לממדיהם הקומפקטיים, ניתן לשלב חיישנים אלה גם בחללים מצומצמים. בדגמים בעלי יציאת קרן של 90°, עומק ההתקנה הנדרש מצטמצם עוד יותר באופן משמעותי.
דגמים רבים למשימות מדידה תובעניות
| דגם | טווח מדידה / תחילת טווח המדידה | ליניאריות | מספר שכבות הניתנות למדידה | תחומי יישום |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0.5/90/VAC | עובי 1.5 מ"מ / כ-0.5 מ"מ | ± 50 ננומטר | - | מדידת מרחק ברמת דיוק גבוהה בסביבות חדר נקי ובוואקום, לדוגמה: מדידה על גבי פרוסות סיליקון (Wafers) מצופות |
| IMS5400-DS10/90/VAC | תחילת טווח המדידה: 1.5 מ"מ / 10 מ"מ | |||
| IMS5400-DS19 | טווח מדידה 2.1 מ"מ / כ-19 מ"מ | ± 50 ננומטר | - | מדידות מרחק תעשייתיות, לדוגמה בייצור מדויק |
| IMS5400-DS19/VAC | משימות מיקום מדויקות ומדידות מרחק בסביבות חדר נקי ובוואקום, לדוגמה בייצור צגים עבור ייצור מסכות | |||
| IMS5400-DS35/VAC | טווח מדידה 2.1 מ"מ / כ-35 מ"מ | 50 ננומטר עבור המרחק הראשון ±150 ננומטר עבור כל מרחק נוסף | - | ניטור מיקום מדויק בייצור פרוסות זכוכית ועבור מדידות מרחק על גבי פרוסות סיליקון מצופות. הודות למרחק העבודה הגדול שלהם, ניתן לבצע מדידות ממרחק בטוח ובנקודות מדידה נמוכות או קשות לגישה |
| IMS5400MP-DS35/VAC | מדידת מרחק טווח מדידה 2.1 מ"מ / כ-35 מ"מ מדידת עובי טווח עובי 0.01 עד 1.3 מ"מ (עבור BK7, n=1.5) / כ-35 מ"מ | עד 13 שכבות | ||
| IMS5400MP-DS19 | מדידת מרחק טווח מדידה 2.1 מ"מ / כ-19 מ"מ מדידת עובי טווח עובי 0.01 עד 1.3 מ"מ (עבור BK7, n=1.5) / כ-19 מ"מ | ±50 ננומטר עבור המרחק הראשון ± 150 ננומטר עבור כל מרחק נוסף | עד 13 שכבות | מדידות מרחק ועובי תעשייתיות, לדוגמה בייצור זכוכית שטוחה |
| IMS5400MP-DS19/VAC | מדידות מרחק ועובי מדויקות בסביבות חדר נקי ובוואקום, לדוגמה בייצור צגים עבור מדידות מרחק ומרווחים |
ממשקים מודרניים להטמעה במכונות ומערכות
הבקר מציע ממשקים מוטמעים כגון Ethernet, EtherCat ו- RS422, וכן חיבורי מקודדים נוספים, יציאות אנלוגיות, כניסות סנכרון ו- I/Os דיגיטליים. זה מאפשר לאינטרפרומטר להיות משולב לתוך כל מערכות הבקרה ותוכניות הייצור.
