用于纳米级绝对距离测量的白光干涉仪
新型 IMS5400-DS 白光干涉仪为工业距离测量开辟了新的前景。该控制器具有智能评估功能，能够在相对较大的偏移距离下进行纳米精度的绝对测量。与其他绝对测量光学系统相比，IMS5400-DS 在精度、测量范围和偏移距离方面都具有无可比拟的优势。
纳米分辨率的绝对距离测量
IMS5400-DS 用于高精度位移和距离测量。与传统干涉仪不同，IMS5400-DS 还能稳定地测量阶梯轮廓。凭借绝对测量特性，其在扫描阶梯时可实现高信号稳定性和高精度。因此，当测量移动物体时，可以可靠地检测凸起、台阶和凹陷的高度差异。
多峰测距
通过对透明物体进行多峰距离测量，可以同时评估多达 14 个距离值。例如，可以确定玻璃和载板之间的距离。此外，控制器可以根据距离值计算玻璃厚度。
用于最小细节和结构的小光斑
传感器在整个测量范围内生成微小光斑。光斑直径仅 10µm ，可检测半导体结构和小型化电子元件等微小细节。
测量多个表面
干涉测量法可在多个表面上进行测量。因此可以对反射金属、塑料和玻璃进行高精度距离测量。
新品：大偏移距离传感器
针对难以靠近、低位测点实现安全稳定的检测：全新 IMS DS35/VAC 传感器具有大偏移距离，可降低干扰，同时能够与高温被测物保持安全测量距离。
配备 90° 光束路径的传感器
该系列传感器体积小巧，可安装于狭小受限空间。采用 90° 出光型号时，所需安装纵深尺寸能进一步大幅缩减。
适用于严苛测量任务的多种型号
| 型号 | 测量范围 / 量程起点 | 线性度 | 可测层数 | 应用领域 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0.5/90/VAC | 1.5 mm / 约 0.5 mm | ± 50 nm | - | 适用于洁净室、真空环境下高精度测距，例如镀膜晶圆检测。 |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1.5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2.1 mm / 约 19 mm | ± 50 nm | - | 工业距离测量，例如在精密制造领域 |
| IMS5400-DS19/VAC | 适用于洁净室、真空环境下的精密定位与距离检测，例如显示屏生产中的光罩加工工序 | |||
| IMS5400-DS35/VAC | 2.1 mm / 约 35 mm | 最近表面测量精度 < ±50 nm 其他表面测量精度 < ±150 nm | - | 适用于玻璃晶圆生产的精密位置监测，以及镀膜晶圆距离检测。该型号具备较大偏移距离，可在安全距离下完成检测，并能覆盖低位或难以触及的测量点 |
| IMS5400MP-DS35/VAC | 距离测量： 2.1 mm / 约 35 mm 厚度测量： 0.01 ... 1.3 mm (适用于 BK7，n=1.5) / 约 35 mm | 最多 13 层 | ||
| IMS5400MP-DS19 | 距离测量： 2.1 mm / 约 19 mm 厚度测量： 0.01 ... 1.3 mm (适用于 BK7，n=1.5) / 约 19 mm | 最近表面测量精度 ± 50 nm 其他表面测量精度± 150 nm | 最多 13 层 | 工业距离和厚度测量，例如平板玻璃生产线 |
| IMS5400MP-DS19/VAC | 适用于洁净室、真空环境中的高精度距离与厚度测量，例如显示器生产中用于距离和间隙测量 |
集成到机器和系统中的现代接口
该控制器提供集成接口，如以太网、EtherCAT 和 RS422，以及额外的编码器连接、模拟输出、同步输入和数字 I/o。当使用米铱公司的接口模块时，可支持 PROFINET 和 EthernetIP。这使得干涉仪可以集成到所有控制系统和生产程序中。
