White light interferometer for absolute distance measurement with nanometer accuracy
The new IMS5400-DS white light interferometer opens up new perspectives in industrial distance measurement. The controller has an intelligent evaluation feature and enables absolute measurements with nanometer accuracy at a relatively large offset distance. Compared to other absolute measuring optical systems, the IMS5400-DS offers an unsurpassed combination of accuracy, measuring range and offset distance.
Características
- Medición de distancia absoluta con precisión nanométrica, adecuada para medir, p. ej., perfiles escalonados
- Medición de distancia multipico de objetos transparentes
- Sensores compactos y robustos con gran distancia base
- Frecuencia de medición de hasta 6 kHz para mediciones rápidas
- Controlador robusto con refrigeración pasiva
- Configuración sencilla mediante interfaz web
- Sensores compactos también con trayectoria del haz de 90°
- Integración industrial flexible para una rápida adaptación de campo en el lugar de aplicación
- NOVEDAD: ahora también con gran distancia base, para una medición de distancia segura o para áreas de difícil acceso y profundas
Absolute distance measurement with nanometer resolution
The IMS5400-DS is used for high-precision displacement and distance measurements. Unlike conventional interferometers, the IMS5400-DS also enables stable measurement of step profiles. Thanks to the absolute measurement, the scanning of steps is performed with high signal stability and precision. When measuring on moving objects, the differences in height of heels, steps and depressions can thus be reliably detected.
Multi-peak distance measurement
With multi-peak distance measurement on transparent objects, up to 14 distance values are evaluated simultaneously. For example, the distance between glass and a carrier plate can be determined. In addition, the controller can calculate the glass thickness based on the distance values.
Ideal for industrial environments
Robust sensors and a controller in a metal housing make the system ideally suitable for integration into production lines. The controller can be installed in the control cabinet via DIN rail mounting and provides very stable measurement results due to active temperature compensation and passive cooling. These compact sensors are extremely space-saving and can also be integrated in confined spaces. Highly flexible fiber optic cables are available in lengths up to 10 m and allow a spatial separation of sensor and controller. Commissioning and parameterization are conveniently performed via web interface and do not require any software installation.
Small light spot for the smallest of details and structures
The sensors generate a small light spot over the entire measuring range. The light spot diameter is only 10 µm and allows the detection of small details such as structures on semiconductors and miniaturized electronic components.
Measuring multiple surfaces
The interferometric measuring method enables measurements on numerous surfaces. This allows high-precision distance measurements on reflecting metals, plastics and glass.
NOVEDAD: sensores con gran distancia base
Para mediciones seguras y confiables incluso en puntos de medición de difícil acceso o profundos: el nuevo sensor IMP S5400-DS35/VAC ofrece una gran distancia base, reduce las influencias perturbadoras y, a la vez, permite mantener una distancia segura respecto de objetos calientes.
Sensores también con trayectoria del haz de 90°
Gracias al diseño compacto, los sensores también pueden integrarse en espacios de montaje estrechos. En los modelos con salida del haz de 90°, la profundidad requerida del espacio de montaje se reduce aún más de forma significativa.
Numerosos modelos para tareas de medición exigentes
| Modelo | Rango de medición / inicio del rango de medición | Linealidad | Número de capas medibles | Ámbitos de aplicación |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm / aprox. 0,5 mm | ± 50nm | - | Medición de distancia de alta precisión en entorno de sala blanca y vacío, p. ej., medición en obleas recubiertas. |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / aprox. 19 mm | ± 50 nm | - | Mediciones de distancia industriales, p. ej., en la fabricación precisa |
| IMS5400-DS19/VAC | Tareas de posicionamiento precisas y mediciones de distancia en entornos de sala blanca y vacío, p. ej., en la producción de pantallas para el posicionamiento de máscaras | |||
| IMS5400-DS35/VAC | 2,1 mm / aprox. 35 mm | < ±50 nm para la primera distancia < ±150 nm para cada distancia adicional | - | Monitoreo preciso de la posición en la producción de obleas de vidrio, así como para mediciones de distancia sobre obleas recubiertas. Gracias a la gran distancia base, es posible medir desde una distancia segura y además se facilita las aplicaciones en puntos de medición profundos o de difícil acceso. |
| IMS5400MP-DS35/VAC | Medición de distancia: 2,1 mm / aprox. 35 mm Medición de espesor: 0,01 ... 1,3 mm (con BK7, n=1,5) / aprox. 35 mm | Hasta 13 capas | ||
| IMS5400MP-DS19 | Medición de distancia: 2,1 mm / aprox. 19 mm Medición de espesor: 0,01 … 1,3 mm (con BK7, n=1,5) / aprox. 19 mm | ± 50 nm para la primera distancia ± 150 nm para cada distancia adicional | Hasta 13 capas | Medición de distancia y espesor industrial, p. ej., en la producción de vidrio plano |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Medición precisa de distancia y espesor en entornos de sala blanca y vacío, p. ej., en la fabricación de pantallas para la medición de distancia y de holguras |
Modern interfaces for integration into machines and systems
The controller offers integrated interfaces such as Ethernet, EtherCAT and RS422 as well as additional encoder connections, analog outputs, synchronization inputs and digital I/Os. When you use Micro-Epsilon's interface modules, PROFINET and EthernetIP are available. This allows the interferometer to be integrated into all control systems and production programs.
