Interferometer med vitt ljus för exakt avståndsmätning med nanometernoggrannhet
Nya interferometern IMS5400-DS med vitt ljus möjliggör nya användningsområden inom industriell avståndsmätning. Styrenheten har en intelligent utvärderingsfunktion och möjliggör absoluta mätningar med nanometernoggrannhet på ett relativt stort offsetavstånd. Jämfört med andra absoluta optiska mätsystem erbjuder IMS5400-DS en oöverträffad kombination av noggrannhet, mätområde och offsetavstånd.
Speciella egenskaper
- Absolut avståndsmätning med nanometerprecision, lämplig för mätning av t.ex. stegprofiler
- Multipeak-avståndsmätning av transparenta objekt
- Kompakta och robusta sensorer med stort basavstånd
- Mätfrekvens upp till 6 kHz för snabba mätningar
- Robust kontroller med passiv kylning
- Enkel konfiguration via webbgränssnitt
- Kompakta sensorer även med 90° strålgång
- Flexibel industriell integration för snabb fältanpassning på plats
- NYHET – Nu även med stort basavstånd – för säker avståndsmätning eller för svåråtkomliga, djupt liggande områden
Exakt avståndsmätning med upplösning i nanometer
IMS5400-DS används för högprecisionsmätning av position och avstånd. Till skillnad från konventionella interferometrar möjliggör IMS5400-DS också stabil mätning av stegprofiler. Tack vare den absoluta mätningen utförs skanning av steg med hög signalstabilitet och precision. Vid mätning på rörliga föremål kan skillnader i höjd, steg och fördjupningar påvisas på ett tillförlitligt sätt.
Multi-peak avståndsmätning
Med multi-peak avståndsmätning på transparenta objekt utvärderas upp till 14 avståndsvärden samtidigt. Till exempel kan avståndet mellan glas och en bärplatta bestämmas. Dessutom kan styrenheten beräkna tjockleken på glas baserat på avståndsvärdena.
Idealisk för industrimiljöer
Robusta sensorer och en styrenhet i metallhus gör systemet idealiskt för integration i produktionslinjer. Styrenheten kan installeras i styrskåpet genom montering på DIN-skena och ger mycket stabila mätresultat tack vare aktiv temperaturkompensation och passiv kylning. Dessa kompakta sensorer är extremt platsbesparande och kan också integreras i trånga utrymmen. Mycket flexibla fiberoptiska kablar finns i längder upp till 10 m och möjliggör avstånd mellan sensor och styrenhet. Driftsättning och parametrinställning utförs enkelt via webbgränssnittet och kräver ingen mjukvaruinstallation.
Liten ljuspunkt för de minsta detaljerna och strukturerna
Sensorerna genererar en liten ljuspunkt över hela mätområdet. Ljuspunktsdiametern är bara 10 µm och möjliggör detektering av små detaljer såsom strukturer på halvledare och miniatyriserade elektroniska komponenter.
Mätning av flera ytor
Den interferometriska mätmetoden möjliggör mätningar på många ytor. Detta möjliggör avståndsmätningar med hög precision på reflekterande metaller, plast och glas.
NYHET: sensorer med stort basavstånd
För säkra och tillförlitliga mätningar, även vid svåråtkomliga eller djupt liggande mätställen: Den nya sensorn IMP DS35/VAC har ett stort basavstånd, reducerar störande faktorer och möjliggör samtidigt ett säkert avstånd till heta objekt.
NYHET: sensorer även med 90° strålgång
Tack vare det kompakta utförandet kan sensorerna integreras även i trånga utrymmen. För modellerna med 90° strålutgång reduceras det nödvändiga installationsdjupet ytterligare.
Ett stort antal modeller för anspråksfulla mätuppgifter
| Modell | Mätområde/ mätområdets början | Linjäritet | Antal mätbara skikt | Användningsområden |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0,5/90/VAC | 1,5 mm / ca 0,5 mm | ± 50nm | - | Högexakt avståndsmätning i renrumsmiljöer och vakuum t.ex. mätning på belagda wafers. |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1,5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2,1 mm / ca 19 mm | ± 50 nm | - | Industriella avståndsmätningar t.ex. inom precisionstillverkning |
| IMS5400-DS19/VAC | Exakta positioneringsuppgifter och avståndsmätningar i renrumsmiljöer och vakuum t.ex. inom displayproduktion för maskpositionering | |||
| IMS5400-DS35/VAC | 2,1 mm / ca 35 mm | < ±50 nm för det första avståndet < ±150 nm för varje ytterligare avstånd | - | Exakt positionsövervakning vid glaswaferproduktion liksom för avståndsmätningar på belagda wafers. kan mätningar utföras på säkert avstånd, vilket dessutom underlättar användning på djupt liggande eller svåråtkomliga mätställen |
| IMS5400MP-DS35/VAC | Avståndsmätning: 2,1 mm / ca. 35 mm Tjockleksmätning: 0,01 – 1,3 mm (vid BK7, n=1,5) / ca 35 mm | Upp till 13 skikt | ||
| IMS5400MP-DS19 | Avståndsmätning: 2,1 mm / ca 19 mm Tjockleksmätning: 0,01 – 1,3 mm (vid BK7, n=1,5) / ca 19 mm | ± 50 nm för det första avståndet ± 150 nm för varje ytterligare avstånd | Upp till 13 skikt | Industriell avstånds- och tjockleksmätning t.ex. inom planglasproduktion |
| IMS5400MP-DS19/VAC | Exakt avstånds- och tjockleksmätning i renrumsmiljöer och vakuum, t.ex. inom displayproduktion för avstånds- och spaltmätning |
Moderna gränssnitt för integration i maskiner och system
Styrenheten erbjuder integrerade gränssnitt som Ethernet, EtherCAT och RS422 samt ytterligare pulsgivaranslutningar, analoga utgångar, synkroniseringsingångar och digitala I/O. Detta gör att interferometern kan integreras i alla styrsystem och produktionsprogram.
