ナノメートル精度での絶対距離測定のための白色光干渉計
新しい白色光干渉計 IMS5400-DSは、産業分野における距離測定に新たな展望をを切り開きました。このコントローラにはインテリジェントな評価機能が搭載されており、比較的長いオフセット距離でナノメートル精度の絶対測定を行うことができます。そのためIMS5400-DSは、他の絶対測定光学システムと比較しても、精度・測定範囲・オフセット距離という組み合わせにおいて比類のない性能を提供しています。
ナノメートル精度の分解能による絶対距離測定
IMS5400-DSは、高精度な変位・距離測定に使用されます。従来の干渉計とは異なり、IMS5400-DSは段付きプロファイルの安定した測定も可能です。絶対測定により、高い信号安定性と精度で段差のスキャンを行います。そのため、可動測定対象物を測定する際にヒール、段差、くぼみの高低差を確実に検知することができます。
マルチピーク距離測定
透明な物体に対するマルチピーク距離測定では、最大14の距離値を同時に評価することができるので、例えばガラスとキャリアプレートの距離などの測定が行えます。さらにこのコントローラは、距離の値からガラスの厚さを計算することも可能です。
極小の細部や構造を測定するための小さな光点
このセンサは、測定範囲全体に渡り小さな光点を形成することで測定を行います。光点の直径はわずか10 µmなので、半導体や小型電子機器部品の構造といった小さな細部も検知することができます。
様々な表面の測定
干渉測定法により様々な表面を測定することが可能なので、反射する金属、プラスチック、ガラス上で高精度な距離測定を行うことができます。
新製品：大きなオフセットに対応したセンサ
手が届きにくい測定点や奥まった場所の測定点でも、安全で信頼性の高い測定を実現。新しいセンサ IMP DS35/VAC は大きなオフセットを備え、外乱の影響を低減し、同時に高温物体との安全な距離を確保します。
光路が90°のセンサもご用意
コンパクトな設計により、センサは限られた設置スペースにも組み込み可能です。90°のビーム出射モデルでは、必要な設置奥行きがさらに大幅に低減されます。
要求の厳しい測定タスクに対応する多様なモデル
| モデル | 測定範囲 / 測定開始距離 | 直線性 | 測定可能層数 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS0.5/90/VAC | 1.5 mm / 約 0.5 mm | ± 50nm | - | コーティングされたウェハの測定など、クリーンルーム環境や真空中での高精度な距離測定 |
| IMS5400-DS10/90/VAC | 1.5 mm / 10 mm | |||
| IMS5400-DS19 | 2.1 mm / 約19 mm | ± 50 nm | - | 精密な加工・製造など産業用途での距離測定 |
| IMS5400-DS19/VAC | ディスプレイ製造におけるマスク位置決めなど、クリーンルーム環境や真空中での高精度な位置決めと距離測定 | |||
| IMS5400-DS35/VAC | 2.1 mm / 約 35 mm | 最初の距離に対して < ±50 nm 以降の各距離に対して < ±150 nm | - | ガラスウェハ製造における高精度な位置監視およびコーティングされたウェハ上での距離測定に最適。オフセットが大きいため安全な距離から測定が可能で、奥まった場所や手が届きにくい測定点での使用も容易です |
| IMS5400MP-DS35/VAC | 距離測定： 2.1 mm / 約35 mm 厚み測定： 0.01 ～ 1.3 mm（BK7、n=1.5 の場合） / 約 35 mm | 最大13層 | ||
| IMS5400MP-DS19 | 距離測定： 2.1 mm / 約 19 mm 厚み測定： 0.01 ～ 1.3 mm（BK7、n=1.5 の場合） / 約 19 mm | 最初の距離に対して ± 50 nm 以降の各距離に対して ± 150 nm | 最大13層 | フラットガラスなどの生産における産業用途での距離・厚み測定 |
| IMS5400MP-DS19/VAC | ディスプレイ製造における距離・ギャップ測定など、クリーンルーム環境および真空中での高精度な距離・厚み測定 |
機械やシステムに統合するための最先端インターフェース
コントローラにはEthernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロンのインターフェースモジュールを使用すればPROFINETとEthernetIPも利用可能なので、この干渉計はあらゆる制御システムや生産プログラムに組み込むことができます。
