זיהוי ומדידה של בליטות על פרוסות סיליקון

חיישנים כרומטיים קונפוקליים למדידת תזוזה מבית מיקרו-אפסילון משמשים לבדיקת בליטות. הם מטילים נקודת אור קטנה על גבי פרוסת הסיליקון, ומזהים בצורה אמינה את החלקים והמבנים הקטנים ביותר ברזולוציות גבוהות. כך הם מודדים בצורה אמינה את הצורה והממדים של בליטות לצורכי חיבור.