אינטרפרומטר אור לבן למיקום מסכות בליתוגרפיה

תהליכי ליתוגרפיה דורשים רזולוציה גבוהה ומדידה יציבה לטווח ארוך של תנועות מכונה במטרה להשיג דיוק מקסימלי. הודות לאלגוריתם הערכה מיוחד ולפיצוי טמפרטורה אקטיבי, האינטרפרומטר אור הלבן, ה- IMS5400, של חברת Micro-Epsilon מאפשר מדידות מיקום בדיוק ננומטרי של המסכות. חיישנים המותאים לוואקום, כבלים ומחברים ייעודיים לכבלים מאפשרים שימוש של מערכת מדידה זו בסביבות וואקום.