מדידת זווית הטיה של פרוסות סיליקון

המיקום המדויק של הפרוסה ממלא תפקיד חשוב בטיפול בפרוסה. במהלך ההזנה של הפרוסות, אינטרפרומטרים אור לבן מודדים את זווית ההטיה האופקית של הפרוסות. שני אינטרפרומטרים מודדים על הפרוסה. אינטרפרומטרים אור לבן של Micro-Epsilon מספקים ערכי מרחק מוחלטים ברזולוציה תת-ננומטרית. המדידה מבטיחה את דיוק המיקום הגבוהה ביותר האפשרי בעת איסוף והסרת פרוסות.