真空コーティングは、自動車、光学、医療機器から家電製品にいたるまで、多くのハイテク産業で使用されています。コーティングは、機械的特性だけでなく部品の外観にも影響を及ぼします。色、彩度、光沢度はプロセスパラメータに大きく依存し、わずかな偏差でも色差が目につきます。そのため、精密で再現性のあるカラー測定は品質管理に不可欠です。

過酷なプロセス条件下でのインライン測定
colorSENSOR CFOを使って、真空チャンバ内で連続カラー測定を直接行うことができます。その際に、特別に開発されたCFSセンサが使用され、10⁻⁵ mbar（高真空）までの負圧および最大600℃の温度で信頼性の高い測定を行います。ΔE < 0.3の繰り返し性と最大30 kHzの測定周波数により、プロセスパラメータをリアルタイムで監視・制御することができます。これによって、コーティング工程において高い安定性が確保され、歩留まりが向上します。

測定が困難な表面でも一貫した色品質を実現
真空コーティングは、物理的なPVD法または化学的なCVD法のいずれかで表面に施されます。PVDコーティングとCVDコーティングでは、プロセス制御および温度管理にそれぞれ異なる要件があります。PVD法が蒸発やスパッタリングプロセスを特徴とするのに対し、CVD法はプロセスチャンバ内の化学反応に基づいています。colorSENSOR CFOは、プロセス関連の信頼性の高いカラー監視でこれら2つの技術をサポートします。得られた測定データは、異なるプロセスや材料システムにおいて層の品質と光学特性を一定に保つのに役立ちます。