IMP-NIR-TH3/90/IP68 är utvecklad för inline-tjockleksmätning av kisel- och SiC-wafers. 90° strålgång och ett arbetsavstånd på endast 3 mm gör sensorn särskilt lämpad för maskiner där installationsutrymmet är begränsat.
Stabil mätning i slipprocessen
Vid exempelvis slurry-slipning utsätts mätutrustningen för både fukt och partiklar. Det IP68-klassade huset i rostfritt stål är konstruerat för användning direkt i denna miljö. En integrerad friblåsning håller optiken fri från partiklar och bidrar till stabil mätning även under krävande processförhållanden.
90° strålgång för kompakt integration
Kombinationen av 90° strålgång, endast 3 mm arbetsavstånd och en ljuspunkt på 15 µm möjliggör precisa inline-mätningar nära processen. Sensorn används tillsammans med IMS5420-kontrollern och är utvecklad för mätning av högdopade wafers där hög signalkvalitet är avgörande.