정전용량변위센서를 이용한 고정밀 거리 측정
Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서는 변위, 거리, 갭, 두께 측정에서 최대 수준의 정밀도를 제공합니다. 또한 다양한 설계 타입으로 제공되어 장비 조건에 맞게 적용할 수 있으며, 우수한 직선성, 온도 안정성, 분해능을 바탕으로 뛰어난 성능을 제공합니다.
한눈에 보는 정전용량변위센서
원통형 표준 센서
정전용량변위센서 CSx 및 CS-x는 원주 방향 클램핑 또는 포인트 클램핑 방식으로 고정하는 원통형 변위센서입니다. CS-x 모델은 간편하고 일관된 설치가 가능하도록, 최적의 클램핑 위치에 맞춰 하우징 직경이 약간 더 크게 설계되어 있습니다. 또한 커넥터 소켓이 내장되어 있어 센서 연결이 간편하며, 다양한 센서 케이블과 함께 사용할 수 있습니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 0.05 | 0.2 | 0.25 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- 직선성: 0.125 µm ~
- 분해능: 0.015 nm ~
- 온도 범위: -50 ~ +200°C
- 대상체 직경: Ø 3 mm ~
- 우수한 온도 안정성
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매우 컴팩트한 설계의 원통형 센서
CSE 센서는 동일한 측정 범위를 지원하는 기본 CSx 및 CS-x 모델보다 더욱 컴팩트하게 설계된 원통형 변위센서입니다. 따라서 설치 공간이 매우 제한적인 환경에도 특히 적합합니다. 또한 원주 방향 클램핑 또는 포인트 클램핑 방식으로 고정할 수 있으며, 측정 범위에 따라 커넥터 또는 내장형 케이블 타입으로 제공됩니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 0.1 | 0.25 | 0.5 | 1 | 1.25 | 2 | 3
- 직선성: 0.25 µm ~
- 분해능: 0.03 nm ~
- 온도 범위: -50 ~ +200°C
- 대상체 직경: Ø 3 mm ~
- 우수한 온도 안정성
- 컴팩트한 설계
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고정밀 원통형 변위센서
정전용량변위센서 CSH는 최대 수준의 정밀도가 요구되는 어플리케이션에 적합한 원통형 센서입니다. 또한 원주 방향 클램핑 또는 포인트 클램핑 방식으로 고정할 수 있으며, 내장형 센서 케이블이 적용되어 있습니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2
- 직선성: 0.08 µm ~
- 분해능: 0.06 nm ~
- 온도 범위: -50 ~ +200°C
- 대상체 직경: Ø 7 mm ~
- 우수한 온도 안정성
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나사산 구조가 적용된 원통형 센서
CSE/Mx 센서는 나사산이 내장된 구조로 설계되었습니다. 따라서 측정 위치에 직접 체결할 수 있으므로, 클램핑 방식으로 고정할 수 없는 경우에 적합합니다. 또한 커넥터 소켓이 내장되어 있어 센서 연결이 간편하며, 다양한 센서 케이블과 조합해 사용할 수 있습니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 0.5 | 1.25 | 2 | 3
- 직선성: 0.25 µm ~
- 분해능: 0.15 nm ~
- 온도 범위: -50 ~ +200°C
- 대상체 직경: Ø 7 mm ~
- 우수한 온도 안정성
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플랫 타입 센서
정전용량변위센서 CSHxFL은 플랫 타입 설계를 적용해 원통형 모델보다 설치 높이를 낮출 수 있습니다. 또한 컴팩트한 구조로 센서 케이블이 내장되어 있으며, 하우징에 마련된 마운팅 홀을 이용해 측정 위치에 쉽게 고정할 수 있습니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3
- 직선성: 0.08 µm ~
- 분해능: 0.06 nm ~
- 온도 범위: -50 ~ +200°C
- 대상체 직경: Ø 7 mm ~
- 우수한 온도 안정성
- 공간 절약형 설치가 가능한 플랫 타입 설계
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갭 센서
CSG 및 CSF 갭 센서는 매우 얇은 PCB 구조가 적용되어 갭 측정에 특히 적합합니다. 먼저 CSF 센서의 경우, 단일면에서 갭을 측정하므로, 한쪽이 고정된 조건은 물론 점검이나 서비스 작업에도 적합합니다. 반면, CSG 센서는 두 개의 개별 거리값을 바탕으로 갭의 너비값을 산출하므로 양쪽 면이 모두 움직이는 조건에 적합합니다. 따라서 두 면이 모두 움직이는 갭 측정에 적합하며, 두 개의 회전 롤러 사이와 같은 어플리케이션에서 사용됩니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 0.5 | 1 | 2 | 4 | 6
- 직선성: 0.5 µm ~
- 분해능: 0.15 nm ~
- 대상체 직경: 약 10 x 10 mm ~
- 온도 범위: -50 ~ (+100) +150°C
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최대 800°C 환경에서도 사용 가능한 원통형 센서
CSE/HT 센서는 최대 +800°C까지 대응하는 매우 넓은 온도 범위가 특징입니다. 또한 내장형 고온용 센서 케이블이 전기장 및 자기장으로 인한 간섭을 보정하므로, 높은 온도 안정성과 매우 우수한 직선성과 함께 까다로운 환경에서도 아주 정확한 측정 결과를 제공합니다. 아울러 본 센서는 원주 방향 클램프를 이용해 쉽게 설치할 수 있으며, 내장형 센서 케이블은 추가 센서 케이블을 사용해 연장할 수 있습니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 1 | 2 | 5 | 10
- 직선성: 0.5 µm ~
- 분해능: 10 nm ~
- 넓은 온도 범위: -50 ~ +800°C
- 대상체 직경: Ø 8 mm ~
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까다로운 환경에 적합한 견고한 내구성의 센서
CSH/SE 및 CSH/FL/SE 센서는 초저온이나 강한 자기장과 같은 까다로운 환경에 맞춰 설계되었습니다. 또한 클린룸 및 UHV 어플리케이션에도 적합합니다. 본 센서는 원통형 구조 (CSH/SE)와 플랫 타입 센서 (CSH/FL/SE)로 제공됩니다.
특징
- 측정 범위 (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3 | 5
- 직선성: 0.25 µm ~
- 분해능: 0.075 nm ~
- 온도 범위: -270 ~ +200°C
- 초저온, 클린룸, UHV, 강한 자기장 등 까다로운 환경에 적합
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설치 공간이 매우 제한적인 환경에 적합한 초소형 센서
Micro-Epsilon사는 협소한 공간에도 설치할 수 있도록 매우 컴팩트한 정전용량변위센서를 제공합니다. 직경 3 mm의 원통형 센서, 두께 0.35 mm의 매우 얇은 플랫 타입 센서, 유연하게 구부릴 수 있는 PCB 버전까지 다양하게 제공되므로, 측정에 필요한 공간을 최소화할 수 있습니다. 또한 측정 범위가 센서 바로 앞에서부터 시작되므로, 설치 공간을 더욱 효율적으로 활용할 수 있습니다.
최대 수준의 신호 안정성을 구현하는 삼축 설계
Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서는 기존 센서와 차별화되는 삼축 구조로 설계되었습니다. 내장된 가드링은 매우 균일한 측정 필드를 형성하며, 이를 통해 매우 안정적인 신호 품질과 아주 정확한 측정을 구현할 수 있습니다. 또한 전기적으로 차폐된 센서 케이블은 외부 간섭을 효과적으로 줄여주므로, 노이즈가 적고 신뢰성 높은 측정 신호를 안정적으로 제공합니다.
측정 범위 확장 및 축소 가능
활용성을 높이기 위해, 측정 범위는 출고 시 캘리브레이션을 통해 일정 비율 (예: 0.5배 또는 2배)로 확장하거나 축소할 수 있습니다. 따라서 기존 센서 설계를 더 넓은 측정 범위에 그대로 적용할 수 있으며, 반대로 측정 범위를 줄여 측정 정확도를 더욱 높이는 것 역시 가능합니다.
진공 및 두께 측정을 위한 액세서리
다양한 액세서리를 이용해 센서를 다양한 어플리케이션에 맞게 최적화할 수 있습니다. 여기에는 피드스루와 진공 호환 센서 케이블과 같은 진공용 구성품은 물론, 특수 측정 작업에 대응하기 위한 맞춤형 케이블 길이 및 연장 옵션 역시 포함됩니다. 또한 양면 두께 측정을 위한 옵션으로 제공되는 마운팅 브라켓을 사용하면 멀티 트랙 구성이 가능하며, 필요 시 캘리브레이션 역시 가능합니다. 아울러 갭 (Gap)센서용 에어 퍼지 옵션을 적용할 경우, 까다로운 환경에서도 더욱 안정적으로 사용할 수 있습니다.