전기 전도성 필름의 고정밀 두께 측정
정전용량시스템 TFG6220은 배터리 필름과 같은 전기 전도성 필름의 두께를 최고 수준의 정밀도로 측정하는 데 사용됩니다. 진공 장치를 이용해 측정 타겟을 흡착하고 매끄럽게 만든 뒤, 주름이 없는 평평한 상태를 유지 및 고정함에 따라 매우 우수한 정밀도로 측정하기 때문입니다. 본 시스템은 오프라인에서 랜덤 샘플을 검사하는 데 사용됩니다. 그 밖에도 TFG6220은 조립이 완료된 상태로 출고되므로 수령 즉시 사용할 수 있습니다.
신뢰성 있는 품질 평가를 위한 정밀 측정
TFG6220은 센서가 탑재된 측정 브라켓과 capaNCDT 컨트롤러로 구성됩니다. 정전용량변위센서 2대를 이용해 두께를 연산하며, 외부에 연결된 진공 장치를 통해 측정 대상체를 자동으로 평탄화하는 과정을 거칩니다. 그리고 이를 통해 마이크로미터 정밀도의 결과를 도출합니다.
측정 브라켓 상단에 고정 설치된 정전용량변위센서 (1)은 측정 대상체 (2)까지 거리를 측정합니다. 또한 측정 인서트 (3)은 레퍼런스 면 역할을 하며, 측정 대상체는 진공을 통해 본 면에 밀착된 상태로 안정적으로 고정됩니다. 이후 하단부에 있는 정전용량변위센서 (4)는 측정 인서트까지 거리를 측정하며 접촉면의 기계적 오프셋을 보정합니다.