capaNCDT

电池薄膜的厚度测量

导电薄膜高精度厚度测量

TFG6220 电容系统可超高精度测量导电薄膜(例如电池薄膜)的厚度。真空装置将被测工件吸附并展平,确保支撑平整无褶皱,从而实现最高精度测量。系统适用于质量管控中的离线样品检测。TFG6220 为预装成品,开箱即可直接投入使用。

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特点

  1. 薄膜厚度的快速离线检测
  2. 分辨率: 10 nm
  3. 高重复性: 1 µm
  4. 可测薄膜厚度:< 1 mm
  5. 采用真空自动平整薄膜,确保测量结果高精度
  6. 集成测量插件,可在厚度测量前轻松完成基准校准
  7. 通过免费的 sensorTOOL 软件实现简易操作与数据可视化
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精确检测,质量可靠

TFG6220 由搭载传感器的测量支架及 capaNCDT 控制器组成。系统通过融合两个电容传感器的信号计算厚度,并可外接真空装置实现被测物体自动平整,从而获得微米级精度的测量结果。

固定安装在测量支架上部的电容传感器 (1) 测量与被测物 (2) 的距离。测量插件 (3) 提供一个基准面,通过真空吸附并夹紧被测物体。下部区域的电容传感器 (4) 在测量插件上进行测量,并补偿接触面的机械偏移。