導電性フィルムの高精度な厚み測定
静電容量式測定システムTFG6220は、電池箔などの導電性フィルムの厚みを高精度で測定します。真空装置が測定対象物を吸着し、表面を平坦にすることで、サポートを最適なシワのない状態にします。そのため、測定を最大限の精度で行うことができます。本システムは、品質検査におけるオフラインの抜き取り検査に使用されます。TFG6220は稼働可能な状態であらかじめ組み立てられており、迅速な導入が可能です。
精密な検査による確かな品質
TFG6220は、センサを含む測定ブラケットとcapaNCDTコントローラで構成されています。厚みは、2台の静電容量式センサの信号の演算により算出されます。測定対象物の自動平坦化は、外部接続された真空装置により実現されます。これにより、マイクロメートル精度の測定結果が得られます。
測定ブラケットの上部に固定設置された静電容量式センサ (1) は、測定対象物 (2) までの距離を測定します。測定用インサート (3) は基準面を形成し、その面上で測定対象物を真空吸着してクランプ固定できます。下部領域 (4) にある静電容量式センサは測定用インサートを測定し、接触面の機械的なずれを補正します。